Влияние структуры на микротвёрдость и адгезионную прочность тонких плёнок карбонитрида титана (Тіnc) на поверхности диэлектриков

DSpace/Manakin репозиторій

Електронний інституційний репозиторій

Приазовського державного технічного університету

Файл

Матеріал з колекції